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氦氣檢漏儀旨在滿足最關(guān)鍵和最苛刻的檢漏應(yīng)用。通過在經(jīng)過現(xiàn)場驗證的真空設(shè)計提供了測試靈活性、高靈敏度和快速、準(zhǔn)確的測量結(jié)果,使所有泄漏檢測應(yīng)用更快、更容易。 在所有測量范圍內(nèi)提供快速響應(yīng)時間,并且對測試條件和最終結(jié)果的周期時間極短。特殊設(shè)計的真空結(jié)構(gòu)提供連續(xù)、高的氦氣抽氣能力和極快的響應(yīng)時間。功能(氫抑制)確保快速滿足所有測試條件。智能 - 泄漏率算法)確保在所有測量范圍內(nèi)快速泄漏響應(yīng)。特殊的多入口渦輪分子泵在整個壓力范圍內(nèi)提供優(yōu)化的高氦氣泵送能力和高氦氣壓縮比,以實現(xiàn)出色的靈敏度、響應(yīng)能力和快速清潔。增壓渦輪分子泵對所有測試對象(包括最大體積和腔室)的響應(yīng)速度極快。經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 扇形磁質(zhì)譜儀多年準(zhǔn)確、可重復(fù)的結(jié)果造就了無故障、免維護的設(shè)計。自我保護功能可保護 免受氦氣和微粒污染,自動凈化循環(huán)確保始終可用。旋轉(zhuǎn)顯示/控制界面和可選的手持遙控器可實現(xiàn)操作靈活性。可以通過軟件激活對設(shè)備和系統(tǒng)軟件的訪問控制,以防止未經(jīng)授權(quán)的使用或意外修改測試設(shè)置。通過電子郵件更新軟件可確保 的最佳性能。工作站設(shè)計具有最佳高度工作臺面、ESD 墊和工具箱,方便測試。典型應(yīng)用用于半導(dǎo)體和平板顯示設(shè)備的泄漏測試部件、配件和大腔室泄漏測試半導(dǎo)體和平板工具檢漏航空空零件、配件和系統(tǒng)泄漏檢測儲存容器/罐
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